高温石墨化炉

用于碳碳复合材料、石墨软毡、石墨硬毡的高温石墨化处理或其他产品的高温烧结处理。高温纯化炉是将石墨制品、石墨软毡、石墨硬毡或SiC粉体等通过高温焙烧和工艺气体定向流动，经过物理扩散、化学反应使杂质元素从基体中排出，形成灰分含量低（5ppmw）、金属含量降到PPB数量级，从而达到半导体晶体生长对石墨品质（或粉体原料）要求的工艺过程。

采用恒进专属超高温、大电流引电技术，能在2400℃条件下长时间稳定使用。